内容摘要：图4(a)Cu/Al引线键合界面依据表1退火24h后STEM图(标尺=0:2µm);(b)为(a)所示区域B-1中IMC的HRTEM像(标尺=5nm),插图为B-1的FFT图,经标定得出为CuAl2;(c)为(a)所示区域B-2中IMC的HRTEM像(标尺=5nm),插图为B-2的FFT图,经标定得出为Cu9Al42Cu/AlIMC原位成长速率核算依据非原位加热、男女儿SEM表征Cu/AlIMC厚度随温度和时刻改变的数据,给出了Cu/AlIMC成长公式:其间X为IMC厚度(cm),t为退火时刻(s),K为IMC反响速率(cm2/s),K0为指前因子(cm2/s),Q是激活能(kcal/mol)(1cal=4:184J),R是气体常数(kcalmol−1K−1),T是退火温度(K),(2)式为阿伦尼乌斯公式,经过核算得到Cu/AlIMC成长公式为依据(1)式,本文运用Mathematic软件对原位观测得到的Cu/AlIMC厚度随时刻的改变联系数据进行拟合处理,得到如图5(a)所示的曲线,在150◦C,175◦C,220◦C下Cu/AlIMC厚度随时刻近似呈抛物线联系。

图4(a)Cu/Al引线键合界面依据表1退火24h后STEM图(标尺=0:2µm);(b)为(a)所示区域B-1中IMC的HRTEM像(标尺=5nm),插图为B-1的FFT图,经标定得出为CuAl2;(c)为(a)所示区域B-2中IMC的HRTEM像(标尺=5nm),插图为B-2的FFT图,经标定得出为Cu9Al42Cu/AlIMC原位成长速率核算依据非原位加热、男女儿SEM表征Cu/AlIMC厚度随温度和时刻改变的数据,给出了Cu/AlIMC成长公式:其间X为IMC厚度(cm),t为退火时刻(s),K为IMC反响速率(cm2/s),K0为指前因子(cm2/s),Q是激活能(kcal/mol)(1cal=4:184J),R是气体常数(kcalmol−1K−1),T是退火温度(K),(2)式为阿伦尼乌斯公式,经过核算得到Cu/AlIMC成长公式为依据(1)式,本文运用Mathematic软件对原位观测得到的Cu/AlIMC厚度随时刻的改变联系数据进行拟合处理,得到如图5(a)所示的曲线,在150◦C,175◦C,220◦C下Cu/AlIMC厚度随时刻近似呈抛物线联系。

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